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离子溅射镀膜仪

公布工夫:2017-11-16  阅读次数:378

NBD-LJ10专为扫描电镜建造样品而设想,具有构造简朴、使用方便等特性。它不需要很下的真空度便能够对扫描电镜样品停止离子溅射,因而它能够作为扫描电镜样品镀膜的根基装备。

主要特点

1.接纳2C静音真空泵,周全降噪,提拔实行感觉;

2.标配样品室真空表和溅射电流表,及时显现和监控仪器状况;-澳门金沙91599com

3.特别设想的钟边沿橡胶密封圈,可包管临时运用不会泛起影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”征象。

4.设置溅射电流控制器和微型真空气阀。联合自动控制电路,轻松掌握真空室压强、电离电流,并可恣意挑选所需电离气体,以得到很好的镀膜结果;

5.标配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸纯金靶,溅射局限更大;


 

技术参数-j

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  • 玻璃处置惩罚室:Φ105*130mm;

  • 试样台尺寸:Φ40nn可同时放6个样品;

  • 金靶尺寸:Φ58*0.12mm。

  • 真空检测:皮氏计;

  • 真空珍爱:-澳门金沙9001net20Pa配有微量充气阀调治事情真空;

  • 工作室事情序言气体:氛围或氩气,配有氩气公用进气口和微量充气调治 ;

  • 溅射材质:铁、钴、铒;



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