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    等离子体体系 当前位置: > 产物展现

等离子体化学气相堆积I型

公布工夫:2017-11-16  阅读次数:480

商品规格:PECVD等离子体化学气相堆积
商品简述:-金沙www4136comPECVD 等离子体化学气相堆积该产物具有固态等离子源、离开式回响反映气体进气体系,静态衬底温控,周全掌握真空体系,接纳集中现场掌握总线技术的nobody掌握软件,PECVD 等离子体化学气堆积和友爱用户操纵界面去操纵。

商品用处:适用于室温至1200℃条件下停止的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的堆积,同时可实现TEOS源堆积,SiC膜层堆积和液态或气态源堆积别的质料,PECVD 等离子体化学气相堆积特别适合于有机质料上高效保护层膜和特定温度下无毁伤钝化膜的堆积。

PECVD 等离子体化学气相堆积技术参数:

型  号

流量掌握

洗濯镀膜RF功率

管径

最大式样尺寸 in

加热区

最高

温度

外形尺寸mm

功率

重 量-金沙5wk登录平台

 

 

 

(中)mm

 

长度mm

 

 

Kg(约)

NBD-PECVD1200-80ITD2Z

两路质量流量计

20~200W可调

Φ60Φ80

2~3″

200

1200℃-js5金沙2004cm

1300

1260

820

AC220V-js9905.com金沙网站

4kw

360

*可非标定制,接待来电垂询!