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    快速退火炉 当前位置: > 产物展现

RTP快速退火炉

公布工夫:2017-11-15  阅读次数:550

产品型号:RTP快速退火炉NBD-HR1200-110IT-170
商品简述NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 

商品重要用于: 
1.可知足离子注入后的快速退火; 
2.也可用于欧姆打仗快速合金; 
3.借可用于硅化物合金退火,氧化物发展; 
4.和铜铟镓硒光伏运用中的硒堆积等快速热处理工艺场所。 
该装备是国家专利珍爱产物,专利号:CN201310005931.6-金沙娱樂場85155
      快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),正在吸取了先辈消费制造工艺的基础上自立研发了该款产物,具有自力的发明专利。不只具有异常快的升温速度500℃/S,并且正在烧结工艺运转结束,间接将试样正在高温区掏出。退火炉实现物理状况下的快速降温。我们的工程师们奇妙天应用了热壁工艺,退火炉正在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的快速起落温!
      腔体接纳了独占进气构造,内管进气,中管出气,使得回响反映氛围取加工样品充裕而匀称天打仗。退火炉是CVD法发展大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件间接和试样打仗,包管试样温度的精准性。

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RTP快速退火炉重要技术参数

型  号

最高温度

最快升温速度(℃/S)

管径(内)(mm)

处置惩罚晶片尺寸(in)

恒温区 (mm)

外形尺寸

功率(AC380V)

 

 

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NBD-HR1200-110IT-170

1100℃

500

103

0~3.5

120-js金沙6629

800

540

750


15kw


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