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    等离子体体系 当前位置: > 产物展现

等离子体化学气相堆积II型

公布工夫:2017-11-15  阅读次数:1855

商品规格:PECVD -II型
商品简述:等离子体化学气堆积该产物具有固态等离子源、离开式回响反映气体进气体系,静态衬底温控,周全掌握真空体系,适用于室温至1200℃条件下停止的SiO2、SiNx,、等离子体化学气堆积、 SiONx a-Si薄膜的堆积,同时可实现TEOS源堆积,SiC膜层堆积和液态或气态源堆积别的质料。

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洗濯镀膜RF功率

管径

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最高

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功率

重 量

 

 

 

(中)mm

 

长度mm

 

 

Kg(约)

NBD-PECVD1200-80ITD2Z

两路质量流量计

20~200W可调

Φ60Φ80

2~3″

200

1200℃

1300

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820

AC220V

4kw

360

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