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PECVD等离子化学气相堆积体系I型

公布工夫:2017-11-15  阅读次数:502-www.4166.com

PECVD 

箱式炉商品规格:PECVD等离子体化学气堆积
商品简述:PECVD 等离子体化学气堆积该产物具有固态等离子源、PECVD化学气堆积、离开式回响反映气体进气体系,静态衬底温控,周全掌握真空体系,
适用于室温至1200℃条件下停止的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的堆积,同时可实现TEOS源堆积,SiC膜层堆积和液态或气态源堆积别的质料。

PECVD 等离子体化学气堆积参数

型  号

流量掌握

洗濯镀膜RF功率

管径

最大式样尺寸 in

加热区

最高

温度

外形尺寸mm-www.澳门金沙6088.com

功率

重 量

 

 

 

(中)mm

 

长度mm

 

 

Kg(约)

NBD-PECVD1200-80ITD2Z

两路质量流量计

20~200W可调

Φ60Φ80

2~3″

200

1200℃

1300

1260

820

AC220V

4kw

360

*可非标定制,接待来电垂询!

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